技術(shù)編號：5961105
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅微機(jī)械傳感器領(lǐng)域，特別是涉及。背景技術(shù)壓阻效應(yīng)由C. S. Smith在1954年首次發(fā)現(xiàn)，壓阻式壓力傳感器就是根據(jù)這一機(jī)理設(shè)計加工而成的微傳感器。典型的壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)采用電化學(xué)或者選擇性摻雜、各向異性腐蝕等加工技術(shù)制作成平面薄膜。最初的壓力傳感器采用金屬膜片作為敏感元件，在其上布置娃應(yīng)變電阻條。微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical systems,MEMS)技術(shù)的成功應(yīng)用促使人們利用硅的良好機(jī)械性能來制作微型...
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