技術(shù)編號：5960967
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，屬于光學(xué)干涉檢測。背景技術(shù)干涉顯微將干涉技術(shù)和顯微放大技術(shù)相結(jié)合，可精確地分析物體的三維形貌和相位型物體的位相信息，具有分辨力高、測量速度快等傳統(tǒng)干涉技術(shù)和顯微技術(shù)不可替代的優(yōu)勢，是一種比較理想的微小物體三維形貌和位相分布測量的方法。 2006年，瑞士 Lyncee Tec公司首次推出DHM-1000數(shù)字全息顯微鏡，可用于測量微小物體的三維形貌和位相分布。但需要傾斜參考光以獲得足夠大載頻使干涉圖樣的零頻分量、實(shí)像和共軛像在頻譜面上分離，因此...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。