技術(shù)編號(hào)：5959144
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種量測裝置，特別是一種量測薄膜厚度的量測裝置。背景技術(shù) 近年來隨工業(yè)的發(fā)展，人類的工藝技術(shù)日異月新，薄膜厚度更已達(dá)到奈米等級(jí)。為了觀察以及測量各類極微小元件，各類量測工具紛紛問世，例如，掃描穿隧顯微儀(Scanning Tunneling Microscope)便是其中一項(xiàng)量測工具。如圖1所示，掃描穿隧顯微儀是將探針11設(shè)置于極接近導(dǎo)電待測物12的表面，并保持一極小間隙H。此時(shí)，電子可由探針11的針尖穿隧到導(dǎo)電待測物12表面，產(chǎn)生穿隧效應(yīng)。由于...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。