技術(shù)編號(hào)：5958426
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于薄膜特種傳感器，具體涉及一種基于微機(jī)械加工技術(shù)的薄膜傳感器及其制備方法。更具體地說，本發(fā)明涉及，通過薄膜熱電偶實(shí)現(xiàn)絕熱層燒蝕溫度和燒蝕速率的測(cè)量，這種薄膜溫度燒蝕復(fù)合傳感器制造工藝簡(jiǎn)單，具有較 高的測(cè)量精度。背景技術(shù)絕熱層主要應(yīng)用于固體火箭發(fā)動(dòng)機(jī)、再入大氣飛行器等航天器的防熱保護(hù)中，絕熱層性能的好壞直接影響到發(fā)動(dòng)機(jī)工作的可靠性，甚至影響到火箭發(fā)射的成敗。絕熱層的工作環(huán)境十分惡劣，它要經(jīng)受高溫高壓氣體的燒蝕和凝相顆粒的沖刷，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致內(nèi)絕熱層防護(hù)...
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