技術(shù)編號：5957744
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于激光應(yīng)用，主要涉及一種基于光路補(bǔ)償?shù)募す馔獠罡缮鏈y量方法與裝置。背景技術(shù)激光外差干涉測量因其具有抗干擾能力強(qiáng)、測量范圍大、信噪比高和易于實(shí)現(xiàn)高精度等特點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于超精密加工、光刻機(jī)以及三坐標(biāo)測量機(jī)等領(lǐng)域。隨著超精密工程的不斷發(fā)展，對加工精度和生產(chǎn)效率提出越來越高的要求；同時也對外差干涉測量的測量精度、分辨率和速度都提出了新的挑戰(zhàn)。在激光外差干涉測量中，非線性誤差嚴(yán)重限制了測量精度和分辨率的進(jìn)一步提高，國內(nèi)外學(xué)者對激光外差干涉非線性誤差進(jìn)行了大...
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