技術編號：5957412
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種太陽能加工及測量精密設備，尤其涉及一種用于測量不同厚度晶圓的平面度和厚度的接觸式測量儀。背景技術為滿足全球能源逐步擴大的需求，太陽能作為綠色能源被廣泛加以利用，而晶圓作為收集太陽能的關鍵元件，需求量和質(zhì)量均在不斷提高。晶圓一般由多層不同材料采用 壓合工藝制成，通常是第一層為晶圓、第二層為粘合劑、第三層為玻璃、第四層為膠帶，從第一層到第四逐層壓合，各層壓合后平面度和壓合后厚度需要監(jiān)控，4層全部壓合后成品晶圓平面度和厚度也需要進行檢測，只有符合晶...
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