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測(cè)量多晶硅薄膜熱膨脹系數(shù)的測(cè)量結(jié)構(gòu)及其測(cè)量方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5957397

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本發(fā)明是基于表面加工工藝的多晶硅薄膜熱膨脹系數(shù)的在線檢測(cè)結(jié)構(gòu),屬于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))工藝參數(shù)測(cè)試的。背景技術(shù)薄膜熱膨脹系數(shù)對(duì)于MEMS器件的設(shè)計(jì)是一個(gè)非常重要的參數(shù)。一方面,薄膜材料的熱膨脹對(duì)器件性能有較大影響,例如,薄膜和襯底熱膨脹系數(shù)的失配會(huì)產(chǎn)生熱應(yīng)力,引起結(jié)構(gòu)變形或損壞;另一方面,熱膨脹是微熱執(zhí)行器的動(dòng)力來(lái)源。許多文獻(xiàn)給出了體材料的熱膨脹系數(shù),但是體材料的熱膨脹系數(shù)與薄膜材料的熱膨脹系數(shù)并不完全相同,因此不可相互替代。而且,即使同一種薄膜材料...
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