技術(shù)編號(hào):5957397
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是基于表面加工工藝的多晶硅薄膜熱膨脹系數(shù)的在線檢測(cè)結(jié)構(gòu),屬于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))工藝參數(shù)測(cè)試的。背景技術(shù)薄膜熱膨脹系數(shù)對(duì)于MEMS器件的設(shè)計(jì)是一個(gè)非常重要的參數(shù)。一方面,薄膜材料的熱膨脹對(duì)器件性能有較大影響,例如,薄膜和襯底熱膨脹系數(shù)的失配會(huì)產(chǎn)生熱應(yīng)力,引起結(jié)構(gòu)變形或損壞;另一方面,熱膨脹是微熱執(zhí)行器的動(dòng)力來(lái)源。許多文獻(xiàn)給出了體材料的熱膨脹系數(shù),但是體材料的熱膨脹系數(shù)與薄膜材料的熱膨脹系數(shù)并不完全相同,因此不可相互替代。而且,即使同一種薄膜材料...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。