技術(shù)編號(hào):5956878
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鐵電晶體疇,特別是一種實(shí)時(shí)檢測(cè)鐵電晶體疇反轉(zhuǎn)的裝置。背景技術(shù)隨著周期疇反轉(zhuǎn)的制備技術(shù)日益成熟,鐵電疇的檢測(cè)與分析手段也日趨多樣和先進(jìn)。選擇性化學(xué)刻蝕法觀察鐵電晶體疇結(jié)構(gòu),快速、操作相對(duì)簡(jiǎn)單,但具有破壞性。光學(xué)顯維鏡或掃描電子顯微鏡觀察法可以觀察到小于O. I μ m的疇結(jié)構(gòu),但不能實(shí)時(shí)觀察疇反轉(zhuǎn)的過(guò)程。光學(xué)觀察法無(wú)接觸、無(wú)破壞,可以實(shí)時(shí)觀察疇結(jié)構(gòu)的形成過(guò)程,但不能定量給出鐵電晶體中反轉(zhuǎn)疇結(jié)構(gòu)的深度等重要信息。數(shù)字全息干涉測(cè)量術(shù)利用CCD攝像機(jī)等光...
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