技術(shù)編號：5954642
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及氣體傳感器，具體涉及一種具有穿孔的平板電容式氣體傳感器及其制備方法。背景技術(shù)電容式氣體傳感器主要由電極和氣敏介質(zhì)構(gòu)成，氣敏介質(zhì)吸附待測氣體后引起介電常數(shù)發(fā)生改變，從而導(dǎo)致電容值產(chǎn)生變化。傳感器的電極主要有平板電容器型和平面叉指電極型兩種，無論是哪一種，氣敏介質(zhì)都必須處于兩個電極所產(chǎn)生的電場中(電力線必須穿過氣敏介質(zhì))。否則，吸附氣體后介電常數(shù)的改變將對電容值沒有貢獻。 常規(guī)的平面叉指電容傳感器由于是在平面叉指上沉積氣敏介質(zhì)薄膜，電力線有一半穿過基...
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