技術(shù)編號:5954013
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型是屬于測試傳感器,涉及到一種集成硅微電阻式加速度傳感器。加速度傳感器是測量各種機(jī)械、車輛、船舶航空和航天器的運(yùn)動參數(shù)和震動數(shù)據(jù)的常用傳感器,傳統(tǒng)的加速度傳感器結(jié)構(gòu)有壓電式。它由一個(gè)或更多的裝在質(zhì)量塊下的壓電片,并通過彈簧壓緊在一個(gè)相當(dāng)厚的金屬基座上,其外有保護(hù)壓電片的殼體,在一定頻率范圍內(nèi),壓電片所呈現(xiàn)的電荷量將和傳感器所承受的加速度成正比。如外體固定型的彈簧與殼體禁固在一起,基座、殼體是彈簧一質(zhì)量系統(tǒng)的一部分,其缺點(diǎn)是外界的溫度、噪聲和試件的變...
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