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半導(dǎo)體器件檢測裝置以及半導(dǎo)體器件檢測方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5950927

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件檢測裝置,更詳細(xì)地說涉及加熱到測試溫度之后檢測針對半導(dǎo)體器件的電特性的。背景技術(shù)半導(dǎo)體器件在結(jié)束封裝工序之后,通過半導(dǎo)體器件檢測裝置進(jìn)行關(guān)于電特性、熱量或壓力的可靠性檢測等各種檢測。 作為現(xiàn)有的半導(dǎo)體器件檢測裝置的一個例子,其結(jié)構(gòu)包括裝載部,用于裝載多個半導(dǎo)體器件;加熱板,從裝載部接收半導(dǎo)體器件而加熱預(yù)定時間直至溫度達(dá)到用于測試的溫度;測試部,在將由加熱板加熱的半導(dǎo)體器件安裝于測試插座之后執(zhí)行電特性等針對半導(dǎo)體器件的測試;卸載部,根據(jù)測...
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