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一種光學(xué)面形的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5950622

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本發(fā)明屬于光學(xué)檢測(cè),涉及。背景技術(shù)高精度干涉儀表面測(cè)量變得越來(lái)越重要,不但在傳統(tǒng)的光學(xué)制造領(lǐng)域,而且在像光盤(pán)面或者半導(dǎo)體晶體面這樣的新領(lǐng)域。PV值在亞納米范圍的檢測(cè)精度要求越來(lái)越多。隨著現(xiàn)代工業(yè)和科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,特別是近代大規(guī)模集成電路技術(shù)的不斷提高,對(duì)系統(tǒng)的精度要求日益提高。在光刻系統(tǒng)中,越來(lái)越短的波長(zhǎng)要求我們使用更高精度的光刻物鏡。在這之前我們需要更高精度的檢測(cè)技術(shù)來(lái)滿足加工及系統(tǒng)集成的需要。光學(xué)面形高精度檢測(cè)技術(shù)是極大規(guī)模集成電路及成套設(shè)備制造工...
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