技術(shù)編號(hào)：5949701
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種諸如半導(dǎo)體器件之類(lèi)的物體的檢查，特別涉及這種物體的三維檢查。背景技術(shù)在過(guò)去幾十年來(lái)，半導(dǎo)體器件的要求迅速增長(zhǎng)。半導(dǎo)體制造商常常被迫提高終端產(chǎn)品的質(zhì)量、速度、性能，以及提高制造エ藝的質(zhì)量、速度、性能。機(jī)器視覺(jué)(machinevision)已經(jīng)證明是提高半導(dǎo)體生產(chǎn)的生產(chǎn)率和質(zhì)量的很必不可少的一部分。對(duì)于永遠(yuǎn)更高的半導(dǎo)體產(chǎn)量而言，更快和更為精確的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)存在ー貫的驅(qū)動(dòng)。相應(yīng)地，最終封裝 產(chǎn)品上的半導(dǎo)體器件如半導(dǎo)體晶圓或襯底的三維測(cè)量和檢查的已...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。