技術編號：5946902
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及MEMS密度傳感器領域，特別是一種復合式MEMS密度傳感器。背景技術密度作為物質的重要物性參數之一，世界上許多國家，如英國、美國、德國、日本等，對于密度測量和應用都進行了深入的研究，并開發(fā)出一系列密度測量產品，主要的測量產品有射線式密度計、浮子式密度計、聲學式密度計、振動管式密度計。其中，射線式密度計根據Y射線穿過物質時Y射線的強度與被測物質的密度之間滿足的指數函數關系，通過測量Y射線的強度變化，計算得到被測物質的密度，適用于各種惡劣工況條件的測...
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