技術(shù)編號(hào)：5946291
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及加速度計(jì)，更具體地說，其具有安置在主體(mass)的兩端的補(bǔ)償電極以便移動(dòng)主體，從而均衡主體兩端的初始電容。背景技術(shù) 加速度計(jì)被稱為微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)備。MEMS設(shè)備表示受電控制和測(cè)量的微刻度機(jī)械設(shè)備，其中MEMS是用于通過半導(dǎo)體工藝，制造機(jī)械和電子設(shè)備的技術(shù)。當(dāng)前正在開發(fā)能測(cè)量加速度的各種加速度計(jì)，以及用在車輛氣囊系統(tǒng)、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)(ABS)和一般振動(dòng)計(jì)中。加速度計(jì)主要通過半導(dǎo)體工藝制作，以及劃分成壓電、壓阻和電容加速度度。壓電加速度...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。