技術編號：5943563
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及表面形貌測量裝置。更具體地，本發(fā)明涉及具有與被測量物體的表面接觸的觸針的表面形貌測量裝置。背景技術已知表面形貌測量裝置在保持觸針與被測量物體的表面接觸的情況下沿著被測量物體的表面移動觸針，檢測由被測量物體的表面形狀、表面粗糙度等引起的觸針的位移，并基于檢測到的觸針的位移識別被測量物體的諸如表面形狀、表面粗糙度等表面形貌。通常，表面形貌測量裝置配備有具有測量臂的檢測器、設置于測量臂末端的觸針和用于檢測測量臂的擺動量的檢測單元，其中測量臂以能夠繞轉(zhuǎn)動...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。