技術(shù)編號(hào):5941835
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種例如在通過(guò)光刻技術(shù)制造器件時(shí)能夠使用的用于確定顯微結(jié)構(gòu)中的不對(duì)稱(chēng)度的方法和設(shè)備。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上(通常應(yīng)用到所述襯底的目標(biāo)部分上)的機(jī)器。例如,可以將光刻設(shè)備用在例如集成電路(IC)的制造中。在這種情況下,可以將可選地稱(chēng)為掩?;蜓谀0娴膱D案形成裝置用于生成待形成在所述IC的單層上的電路圖案??梢詫⒃搱D案轉(zhuǎn)移到襯底(例如,硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如,包括一部分管芯、一個(gè)或多個(gè)管芯)上。典型地,經(jīng)由成像將所述圖案轉(zhuǎn)移到...
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