技術(shù)編號：5941778
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，具體涉及一種用于真空規(guī)、 真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計的實驗室、現(xiàn)場和在線校準(zhǔn)測試系統(tǒng)及方法，屬于測量。背景技術(shù)真空校準(zhǔn)技術(shù)在航天、表面、微電子、太陽能、光電子等科研生產(chǎn)中具有重要的意義，對于科研或企業(yè)生產(chǎn)線，需要對真空規(guī)真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計進行現(xiàn)場或在線校準(zhǔn)測試，這樣使校準(zhǔn)條件與使用條件基本相同，不僅提高了校準(zhǔn)精度，而且避免了因為停止工作系統(tǒng)送往實驗室校準(zhǔn)的經(jīng)濟損失和時間浪費，因此在科研、生產(chǎn)制造中提出了現(xiàn)場或在線真空校準(zhǔn)的緊迫需...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。