技術(shù)編號：5938494
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求I前述部分的方法以及一種微機械旋轉(zhuǎn)率傳感器，所述微機械旋轉(zhuǎn)率傳感器具有共同地與第一震動質(zhì)量(seismicmass)相關(guān)聯(lián)的至少三個修整電極元件。背景技術(shù)已知的是，用于將旋轉(zhuǎn)率傳感器中的震動質(zhì)量抑制在一定范圍的微機械彈簧已經(jīng)導(dǎo)致在驅(qū)動模式或主要模式中的讀取方向上存在由于相對較小的制造不準確性而產(chǎn)生的偏差，該制造不準確性使得特別是在不存在旋轉(zhuǎn)率的情況下出現(xiàn)各自結(jié)構(gòu)的不期望的邊緣角。結(jié)果，產(chǎn)生干擾信號，該干擾信號是作為旋轉(zhuǎn)率信號分量而...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。