技術編號：5938444
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種高度測量方法并且涉及一種高度測量裝置。背景技術為了測量對象的表面的高度，現(xiàn)有技術中需要為用于獲得測量對象的表面的圖像的光學系統(tǒng)補充用于測量高度的光學系統(tǒng)，例如，激光照射光學系統(tǒng)、共焦光學系統(tǒng)、白光干涉光學系統(tǒng)、多個電子顯微鏡的檢測器等等(例如，參見專利文獻I)?，F(xiàn)有技術列表專利文獻專利文獻I 日本特開專利公開No. 2001-289621 (A)發(fā)明內容本發(fā)明要解決的技術問題然而，對于如上所述的補充光學系統(tǒng)或者裝置，增加了整個設備的復雜程度，...
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