技術(shù)編號：5938441
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施方式屬于光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域，更特別地，涉及結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量的材料光學(xué)特性的確定。背景技術(shù)在過去的幾年，嚴(yán)格耦合波方法(RCWA)和類似算法已廣泛用于對衍射結(jié)構(gòu)的研究和設(shè)計(jì)。在RCWA方法中，周期性結(jié)構(gòu)的剖面(profile)由給定數(shù)量的足夠薄的平面光柵(grating)板來近似。具體來說，RCWA包含三個(gè)主要步驟，S卩，光柵內(nèi)的場的傅里葉展開、表征衍射信號的恒定系數(shù)矩陣的本征值和本征向量的計(jì)算以及根據(jù)邊界匹配條件導(dǎo)出的線性系統(tǒng)的求解。RCWA將問題分為...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。