技術(shù)編號：5938184
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及利用發(fā)熱電阻體計測流量的流量傳感器。例如涉及檢測機動車用發(fā)動機吸入的空氣量的流量測定裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)中，機動車等的內(nèi)燃機吸入空氣通路中設置的計測吸入空氣量的流量傳感器，主要使用熱式的流量傳感器。這是由于熱式的流量傳感器能夠直接計測質(zhì)量流量。近年來，出于地球環(huán)境保護的觀點，低燃耗、排放尾氣限制變得嚴格。為此，對于計測吸入空氣量的流量傳感器，高精度化、逆流檢測、動態(tài)范圍擴大等需求變得顯著化。在對應這樣的需求的熱式的流量傳感器中，使用半導體微細加...
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