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一種壓電薄膜力傳感器的制作方法技術資料下載

技術編號:5933311

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本發(fā)明屬于傳感器及其測控,特別涉及冷鍛壓裝置(如鋼球冷鍛機)的壓電薄膜力傳感器,可用于測量空 間大量程沖擊載荷。背景技術壓電式測量方式為巨大沖擊力的測量提供了可靠的解決辦法。壓電片不需要外部激勵源。壓電片的輸出通常體現在正壓力作用時單位面積釋放的電荷數量。輸出是通過單獨的信號調理器或者電荷轉換器傳送到讀出設備。目前壓電式力傳感器的研究較少,主要原因是基于壓電薄膜的力傳感器研究依賴于壓電薄膜制備工藝以及壓電性能的研究進展,與壓阻式力傳感器相比,制各工藝比較復...
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