技術編號：5927909
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。背景技術本發(fā)明總地涉及一種平板印刷系統(tǒng)。更具體地說，本發(fā)明旨在確定一個壓印模子和一個在其上將被這個壓印模子成形出一個圖案的基板之間的空間關系。在制作特征尺寸小于50nm(納米)的圖案方面壓印平板印刷技術(imprintlithography)已經(jīng)表現(xiàn)出大有希望的應用前景。因此，已有技術中已經(jīng)提出了許多種壓印平板印刷技術方法。Willson等人的美國專利6,334,960揭示了一個示例性的平板印刷壓印方法，其包括提供一個具有一個轉(zhuǎn)移層的基板。這種轉(zhuǎn)移層由一種...
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