技術編號：5920910
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及基于吹掃置換型液相氯硅烷取樣柜的取樣技術，特別是一種新型液相氯硅烷取樣裝置。背景技術在多晶硅行業(yè)中，大部分生產企業(yè)都采用改良西門子法生產多晶硅，其中行業(yè)內對于液相氯硅烷的取樣技術主要分為二種第一種，使用吹掃置換型取樣柜采用閉路循環(huán)取樣。此方法在正常情況下無液相氯硅烷外泄，為較為安全的取樣方法，其取樣原理圖如圖1所示。此方法通入氮氣對取樣柜進行預吹掃，使用物料對取樣柜管路進行潤洗，潤洗結束后由取樣器取樣。取樣結束后，利用取樣器旁通，使用氮氣對整...
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