技術(shù)編號：5912204
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于物品傳送裝置，具體涉及一種用于在真空室內(nèi)傳送樣品的大負(fù)載送樣裝置。背景技術(shù)真空技術(shù)是建立低于大氣壓力的特定物理環(huán)境，以及在此環(huán)境中進行工藝制作、 物理測量和科學(xué)試驗等所需的技術(shù)。近年來，由于其他工業(yè)技術(shù)和科學(xué)研究領(lǐng)域?qū)φ婵占夹g(shù)的需求增加，真空工業(yè)的發(fā)展十分迅速。在科學(xué)實驗和工業(yè)生產(chǎn)中，經(jīng)常碰到需要在真空室外面操作真空室里面的試驗和物件。如磁控濺射鍍膜設(shè)備中進樣預(yù)處理室和鍍膜室之間樣品的傳遞，觀察窗擋板的操縱，都涉及到將真空室外面的轉(zhuǎn)動或直線往...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。