技術(shù)編號(hào)：5911381
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，屬于光學(xué)干涉顯微檢測(cè)。背景技術(shù)干涉顯微將干涉技術(shù)和顯微 放大技術(shù)相結(jié)合，可精確地分析物體的三維形貌和相位型物體的位相信息，具有分辨力高、測(cè)量速度快等傳統(tǒng)干涉技術(shù)和顯微技術(shù)不可替代的優(yōu)勢(shì)，是一種比較理想的微小物體三維形貌和位相分布測(cè)量的方法。2006年，瑞士 Lyncee Tec公司首次推出DHM-1000數(shù)字全息顯微鏡，可用于測(cè)量微小物體的三維形貌和位相分布。但因?yàn)椴捎秒x軸全息光路而不能充分利用圖像傳感器CCD的分辨率和空間帶寬積；同時(shí)不能...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。