技術(shù)編號：5909068
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種對復(fù)數(shù)個光反射面間的平行度進(jìn)行高精度地測定的，特別是涉及一種例如關(guān)于一種象在基座上帶有間隔地配置極薄的玻璃板的場合那樣，在存在有復(fù)數(shù)個光反射平面的情況下，可對其平面間的平行度進(jìn)行測定的。背景技術(shù) 例如，在那種在基座上以微小的間隔配置極薄的玻璃板的部件中，就存在需要對平行平面玻璃的表面或背面與基座之間的平行度(因為包括局部的平行度，所以在以下的說明中也稱作平行不均)進(jìn)行高精度地測定的要求。眾所周知，由于這種測定要求排除因被檢面以外的面所造成的干...
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