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技術(shù)編號：5908037

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本發(fā)明涉及一種氣體中雜質(zhì)的檢測方法，特別涉及一種。背景技術(shù)電子級超純氨是一種非常重要的新型光電子材料，也是MOCVD技術(shù)制備GaN的重要基礎(chǔ)材料。在生產(chǎn)制造發(fā)光二極管(LED)、平板顯示器(FPD)、半導(dǎo)體和多晶硅太陽能電池片過程中有著廣泛的用途。尤其LED芯片在生長過程中，超高純氨氣被用于金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積(MOCVD)外延生長過程中，它與金屬有機(jī)物的前驅(qū)物三甲基鎵(Ga(CH3)3)在高溫高壓下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成氮化鎵 Ga (CH3) 3 (...
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