技術(shù)編號:5905637
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種壓力檢測裝置,尤其是涉及一種基于壓電蜂鳴片的諧振式壓力檢測裝置。背景技術(shù)自20世紀(jì)80年代以來,隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,國外對微型壓力傳感器的研究異常活躍。傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器受溫度影響較大,不適合較高溫度下的測量。而比較常用的電容式壓力傳感器,制造工藝復(fù)雜,制作成本高,線性度較差,且難于補(bǔ)償。當(dāng)某些電介質(zhì)在一定方向上受到外力作用而發(fā)生形變時,其內(nèi)部產(chǎn)生極化現(xiàn)象, 同時在它的兩個相對表面上出現(xiàn)正負(fù)相反的電荷;當(dāng)外力去掉后,它又會恢復(fù)到不...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。