技術(shù)編號:5905447
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種多量子阱紅外探測器材料結(jié)構(gòu)層厚度和透射光譜測量,具體地說,是關(guān)于通過對多量子阱紅外探測器材料透射光譜的測量和特殊模型的應(yīng)用,直接獲取材料上電極層、多量子阱區(qū)域厚度參數(shù)的方法。背景技術(shù)隨著紅外探測器在軍事、民用等領(lǐng)域的需求,其材料生長、器件制備受到了極大關(guān)注。例如,GaAs/AlGaAs兩類重要的紅外半導(dǎo)體材料,同HgCdTe材料相比,GaAs/AlGaAs多量子阱紅外探測器雖存在光吸收系數(shù)小,載流子壽命短的缺點,但是,GaAs材料生長和工藝成...
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