技術(shù)編號：5905196
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明關(guān)于一種熱氣泡式加速儀，特別關(guān)于一種具有非懸置的加熱器與溫度感測元件的熱氣泡式加速儀。背景技術(shù)美國專利公告號第6，182,509號公開一種熱氣泡型加速儀(Thermal BubbleAccelerometer) 熱氣泡型加速儀包含一絕熱基板、一加熱器和兩個溫度感測元件。絕熱基板具一凹槽，加熱器與兩個溫度感測元件懸置于凹槽上，且兩個溫度感測元件分別等距置放于加熱器的相對兩側(cè)。為形成懸置的加熱器與兩個溫度感測元件，首先在絕熱基板上形成二氧化硅層。然后，...
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