技術(shù)編號：5892323
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及光學(xué)加工和檢測領(lǐng)域，特別是涉及一種用于光學(xué)元件加工研磨階 段產(chǎn)生亞表面缺陷的檢測裝置。背景技術(shù)隨著大型激光光學(xué)系統(tǒng)、天文望遠(yuǎn)鏡和太空望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)的發(fā)展，對于光學(xué)元件的 加工質(zhì)量要求愈來愈嚴(yán)格。多年來對光學(xué)元件缺陷特性成因的研究表明，光學(xué)元件制造過 程中產(chǎn)生的微裂紋等亞表面缺陷是造成光學(xué)元件缺陷的重要因素。光學(xué)系統(tǒng)中的光學(xué)元件 的壽命和性能受到其加工質(zhì)量尤其是亞表面缺陷的影響。因此精確有效地測量光學(xué)元件亞 表面缺陷產(chǎn)生的程度和深度，對優(yōu)化研磨及拋...
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