技術(shù)編號(hào)：5885586
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及壓力傳感器的產(chǎn)品制造技術(shù)，尤其是涉及用離子束濺射硅材料制造壓力傳感器的核心部件即壓力應(yīng)變器件的技術(shù)方法。背景技術(shù)壓力傳感器作為現(xiàn)代信息化工業(yè)的一個(gè)關(guān)鍵器件，其特性和用途主要取決于其核心部件敏感元件的技術(shù)和工藝。隨著現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，敏感元件的技術(shù)日新月異，主要體現(xiàn)在采用不同力學(xué)結(jié)構(gòu)的彈性體元件、或者采用各種新材料、又或者采用各種新的工藝技術(shù)和手段、又甚而基于創(chuàng)新的物性原理等等?；诮饘匐娮钁?yīng)變效應(yīng)或半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)的技術(shù)及產(chǎn)品仍然占據(jù)重要地位...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。