技術(shù)編號(hào)：5881560
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成了加速度傳感器和壓力傳感器的芯片及制作方法，尤其是一種單硅片單面體微機(jī)械加工的加速度和壓力傳感器集成芯片及制作方法，可用于TPMS (輪胎壓力檢測(cè)系統(tǒng))，屬于硅微機(jī)械傳感器。背景技術(shù)在航空航天、工業(yè)自動(dòng)化控制、汽車(chē)電子、航海以及消費(fèi)電子等領(lǐng)域中，需同時(shí)測(cè)量加速度、壓力等參數(shù)。如在汽車(chē)TPMS (輪胎壓力檢測(cè)系統(tǒng))中，利用安裝各輪胎里的壓力傳感器來(lái)實(shí)時(shí)檢測(cè)輪胎氣壓情況，并將各個(gè)輪胎氣壓狀況信息反饋到控制面板進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示及監(jiān)測(cè)，確保汽車(chē)安全運(yùn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。