技術(shù)編號(hào)：5881500
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。直接針測(cè)式的探針測(cè)試裝置本發(fā)明是關(guān)于一種探針測(cè)試裝置，特別是關(guān)于一種壽命較長(zhǎng)且其空間轉(zhuǎn)換板較不易變形的探針測(cè)試裝置。背景技術(shù)請(qǐng)參照?qǐng)DIA與圖1B，圖IA所繪示為習(xí)知的一種探針系統(tǒng)的示意圖，圖IB所繪示為圖IA中的探針測(cè)試裝置。此探針系統(tǒng)1000包括一測(cè)試頭1100 (test head)、一探針測(cè)試裝置1200、及一晶圓測(cè)試機(jī)1400 (Prober)，而探針測(cè)試裝置1200則包括一探針接口板 1210 (Probe Interface Board)、一彈...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。