技術(shù)編號(hào)：5880413
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使用粒子束的粒子束系統(tǒng)，其中粒子束可以是，例如電子束和離子束。 本發(fā)明進(jìn)一步涉及使用粒子束獲取與樣品結(jié)構(gòu)相關(guān)的信息的檢測方法。背景技術(shù)傳統(tǒng)的粒子束顯微鏡包含用于產(chǎn)生初級(jí)粒子束(primary particle beam)的粒子 束源以及電子探測器。這樣的粒子束顯微鏡的實(shí)例包括具有電子束源的電子顯微鏡和具有 離子束源的離子顯微鏡。電子顯微鏡可具有用于探測通過入射到樣品的初級(jí)粒子束產(chǎn)生的 X射線的X射線探測器。X射線可包括指示樣品中所含化學(xué)元素的特征...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。