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橋形薄膜電極多元紅外探測器的制作方法技術資料下載

技術編號:5879885

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本實用新型涉及光電探測技術中的一種多元探測器,特別是分子束外延(MBE)、液相外延(LPE)等碲鎘汞薄膜材料制備的多元紅外探測器的電極引出。多元紅外探測器電極引出技術一直是探測器研制過程中的關鍵技術。通常采用金絲球焊、超聲鍵壓等方法引出電極,但上述技術的一個共同點都是在較大的超聲壓力或靜壓力下完成金絲、硅鋁絲與光敏元電極上的金屬層之間的鍵合,在鍵壓點由于接觸點小,所以電極區(qū)域必須承受很大的壓強。為防止局部壓力對光敏元P-N結電學性能的影響,發(fā)展了延伸電極,...
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