技術編號：5876921
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體，尤其涉及透射電鏡樣品制備方法及透射電鏡樣品。 背景技術透射電鏡(Transmission Electron Microscopy,TEM)是 IC行業(yè)觀測微觀結構非常重要的工具和手段。在線檢測的很多關鍵尺寸都需要和透射電鏡的測量值做比較，同時也是解決在線檢測很多問題的一個重要方式。通常，技術人員通過觀測透射電鏡圖像的襯度來分析各個關注區(qū)域，襯度是分析TEM圖像時，圖像的亮暗差別。隨著半導體行業(yè)的先進制程的開發(fā)，關鍵尺寸越來越小，當制程到6...
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