技術(shù)編號：5876812
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種微機械梳狀電容式加速度傳感器，屬微電子機械領(lǐng)域。加速度傳感器廣泛應(yīng)用于導(dǎo)彈、飛機、艦船、汽車等各類運動系統(tǒng)的監(jiān)控領(lǐng)域，具有巨大的市場應(yīng)用前景。80年代末期隨著微機械加工技術(shù)的出現(xiàn)和發(fā)展，人們開始將其應(yīng)用于加速度傳感器的制作，目前，小型化，智能化，集成化已成為加速度傳感器發(fā)展的主流方向。加速度傳感器種類很多，電容式加速度傳感器為主要方向。電容式加速度傳感器主要有梁-質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)以及梳狀電容式結(jié)構(gòu)。其原理一般為柔性梁支撐一可動質(zhì)量塊作為可動電容...
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