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氧化鋅納米桿壓力傳感器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào)：5876391

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本發(fā)明涉及一種ZnO納米桿壓力傳感器及其制備方法，屬于納米器件領(lǐng)域。 背景技術(shù)ZnO材料具有優(yōu)良的壓電性能，在壓電方面具有重大的應(yīng)用前景，如壓電發(fā)動(dòng)機(jī) 和壓電壓力傳感器。最近這些年來(lái)，以ZnO塊材料(CN100488914)、薄膜材料(Kuoni A, Holzherr R, Boillat, et al. 2003 J. Micromech. Microeng. 13 S103)、納米材料(Zhou J, Gu YD, Fei P, Mai ff J, ...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

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