技術編號：5874856
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種單軸加速度傳感器。 背景技術諸如加速度傳感器、振動陀螺儀和振動傳感器這樣的微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器 是常規(guī)已知的，這些MEMS傳感器將聯(lián)接到質(zhì)量體的柔性梁的位移轉(zhuǎn)換為電信號。硅處理技 術(silicon processing technology)已經(jīng)被充分地開發(fā)出且伴有集成電路的進步，且適 用于制造MEMS。硅中的載荷子(電子、空穴)受到應力施加(stress application)的影 響。電子運動性隨著沿遷移方向的拉應力的增加而增...
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