技術編號：5874242
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于微電子機械，涉及一種硅諧振式氣壓傳感器。 背景技術基于微電子機械技術(MEMS)工藝的氣壓傳感器主要分為壓阻式、電容式以及諧振式等三大類。微機械諧振式壓力傳感器因其精度高、穩(wěn)定性好、體積小、易批量生產等一些優(yōu)良的特性，被譽為新一代的壓力傳感器，是微電子機械(MEMQ技術繼壓阻式壓力傳感器之后的又一項典型應用。比較國際上已經實用化的幾種諧振式壓力傳感器，有一個共同的特點就是，諧振器工作于高真空環(huán)境中，制作工藝要求太高，比如日本橫河公司的電磁激勵諧振...
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