技術(shù)編號(hào)：5873755
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光柵干涉型位移測(cè)量裝置，該裝置用來自可干涉光源的光束從多個(gè)方向入射到標(biāo)尺，使各光束的衍射光之間產(chǎn)生干涉，并由此獲得檢測(cè)信號(hào)。尤其適合用于，測(cè)量探頭部與標(biāo)尺的相對(duì)位移量的直線型編碼器、裝有該直線型編碼器的線性量規(guī)等測(cè)量器和形狀測(cè)量器、內(nèi)外徑測(cè)量器等測(cè)量裝置、以及對(duì)機(jī)床和檢查設(shè)備等的移動(dòng)工作臺(tái)進(jìn)行定位和速度控制的裝置。附圖說明圖1是本申請(qǐng)人在日本的特開平1-185415中提出的光柵干涉型位移檢測(cè)裝置。該位移測(cè)量裝置包括標(biāo)尺10和探頭部20。標(biāo)尺1...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。