技術(shù)編號(hào)：5872930
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。原子力聲學(xué)顯微鏡懸臂梁接觸諧振頻率追蹤系統(tǒng)主要用于快速獲取原子力顯微 鏡懸臂梁的接觸諧振頻率，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)原子力聲學(xué)顯微鏡的快速彈性模量成像，屬于無損檢 測(cè)領(lǐng)域。背景技術(shù)原子力聲學(xué)顯微鏡(AFAM)技術(shù)，通過使原子力顯微鏡的懸臂梁或被測(cè)試件做超 聲振動(dòng)，激勵(lì)懸臂梁的高階振動(dòng)模態(tài)。精確測(cè)定高階諧振頻率的漂移，可很好地反映試件表 面局部機(jī)械性質(zhì)，如接觸剛度、彈性常數(shù)、近表面缺陷等。這種技術(shù)具有很高的橫向分辨率 (可小于lOnm)，既適用于電子封裝焊點(diǎn)的表面及近表面...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。