技術(shù)編號(hào)：5869004
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域。背景技術(shù)在很多自動(dòng)控制場(chǎng)合，需要檢測(cè)被控對(duì)象對(duì)中心點(diǎn)的微小位移，進(jìn)而對(duì)其進(jìn)行相 應(yīng)的控制。現(xiàn)有的檢測(cè)線位移的傳感器有很多，但在電磁軸承、機(jī)器人關(guān)節(jié)這樣的狹小空間 中裝配很麻煩。而且在這樣的控制對(duì)象中，其位移往往很小，最多在0. 5mm，但要求分辨率要 很高，尤其在零點(diǎn)附近。另外，由于被控對(duì)象的敏感性，必須要采用非接觸檢測(cè)方式，因此， 現(xiàn)有的測(cè)量微小位移的電渦流式傳感器在這樣的場(chǎng)合下應(yīng)用存在諸多問題。發(fā)明內(nèi)容 本發(fā)明解決了現(xiàn)有通常用于測(cè)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。