技術(shù)編號：5867509
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基于兩組亞波長光柵的光學(xué)微位移傳感器。背景技術(shù)位移傳感器作為傳感器領(lǐng)域中的重要一部分，可以用來精確測量被測物體的位 置、位移變化等變化，主要應(yīng)用于檢測物體的位移、厚度、振動、距離、直徑等幾何量的測量， 在民用和軍用領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。 在現(xiàn)有報道中，位移傳感器主要分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電 式位移傳感器，超聲波式位移傳感器，霍爾式位移傳感器。雖然種類很多，但是現(xiàn)有的位移 傳感器的位移精度最高只能達(dá)到納米量級，因此，對一些...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。