技術(shù)編號：5867090
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種薄膜厚度的測量方法和裝置，特別涉及應(yīng)用于對樣品表面納米尺 度薄膜厚度分布進(jìn)行觀測的方法和裝置。背景技術(shù)橢圓偏振測量法是利用偏振光測量薄膜或界面參數(shù)的測量技術(shù)，通過測量經(jīng)被測 樣品反射(或透射)光線的偏振態(tài)變化來獲得樣品的厚度和折射率等參數(shù)。橢偏儀廣泛應(yīng) 用于薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)的測定，能同時(shí)測量多層薄膜，膜厚測量范圍大，可以從幾納米到 1微米。橢偏儀是一種快速、高精度、非接觸式光學(xué)測量儀器，能夠在各種復(fù)雜環(huán)境下應(yīng)用， 可以對各種半導(dǎo)體及其氧化物...
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