技術(shù)編號：5866862
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種投影物鏡數(shù)值孔徑的測量方法。 背景技術(shù)投影物鏡的數(shù)值孔徑是衡量投影物鏡性能的一項關(guān)鍵指標(biāo)。目前，投影物鏡數(shù)值 孔徑僅可在其未安裝到光刻機前，采用離線的方法進行測量。由于投影物鏡安裝到光刻機 后，其性能相對于未安裝之前會有一定的變化，因此投影物鏡數(shù)值孔徑的原位測量對于保 證數(shù)值孔徑的設(shè)置精度具有重要意義。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提出一種投影物鏡數(shù)值孔徑測量方法，該方法可在投影物鏡集 成到光刻機之后實現(xiàn)投影物鏡數(shù)值孔徑的原位與在線測量，解決了物鏡...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。