技術(shù)編號(hào)：5866730
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及配備有利用經(jīng)由錨定點(diǎn)固定于襯底的絕熱臂而懸浮于襯底上方的膜 (membrane)的測輻射熱探測器的制造方法，所述膜具有熱敏半導(dǎo)體鐵氧化物的薄層。背景技術(shù)測輻射熱探測器能夠在太(拉)赫的頻率范圍測量電磁輻射的功率或者通過將輻 射轉(zhuǎn)換為電信號(hào)而測量紅外線的功率。太(拉)赫頻段指的是范圍大約在100GHz和30THz 之間的電磁波。如在圖1和2中所示出的，在電阻測輻射熱探測器的情形中，電磁輻射典型 地被利用經(jīng)由錨定點(diǎn)4被固定于襯底2的絕熱臂3而懸浮于襯...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。